電子束刻蝕

電子束曝光技術是在計算機控制下，按照加工要求的圖形，利用聚焦後的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光，在抗蝕劑中產生具有不同溶解性能的區域，根據不同區域的溶解特性，利用具有選擇性的顯影劑進行顯影，溶解性強的抗蝕劑部分被去除，溶解性差或不溶的部分保留下來，就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。