電子束刻蝕

電子束曝光技術是在汗禁辣計算機控制下，按照加工要求的圖形，利用聚焦後的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光，在抗蝕劑中頸簽墓產生具有不同溶解妹乃蘭性能的區域，根據不同區域榆戒婆的溶解特性，利用具有選擇性的顯影劑進行顯影，溶解性強的抗蝕劑部分凶潤被去除，溶解性差或不溶的部分保留下來，就可以淚霸茅鍵得到所需要的抗蝕紙轎墊己劑圖形。