雷射熱化學氣相沉積

中文名稱	雷射熱化學氣相沉積
英文名稱	laser thermal chemical vapor deposition
定　　義	雷射的能量只用於局部加熱基底，沉積只發生在基底被加熱的部分的化學氣相沉積。
套用學科	材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），薄膜製備技術（四級學科）