| 中文名稱 | 雷射增強化學氣相沉積 |
| 英文名稱 | laser enhancement chemical vapor deposition |
| 定 義 | 利用雷射光子能量促進化學反應降低反應溫度的化學氣相沉積。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科） |
基本介紹
- 中文名：雷射增強化學氣相沉積
- 外文名：無
- 類型：化學氣相沉積
- 特點：雷射增強
雷射增強化學氣相沉積
| 中文名稱 | 雷射增強化學氣相沉積 |
| 英文名稱 | laser enhancement chemical vapor deposition |
| 定 義 | 利用雷射光子能量促進化學反應降低反應溫度的化學氣相沉積。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科） |
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