雷射氣相沉積

雷射氣相沉積是雷射照射靶材或反應氣體，使其氣化為原子態，隨後氣態原子沉積到基材表面形成薄膜的工藝。

中文名稱	雷射氣相沉積
英文名稱	laser vapor deposition
定　　義	雷射照射靶材或反應氣體，使其氣化為原子態，隨後氣態原子沉積到基材表面形成薄膜的工藝。
套用學科	材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），表面改性和塗層技術（四級學科）

• 套用學科
  
• 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料合成、製備與加工（三級學科），表面改性和塗層技術（四級學科）