雷射分子束外延系統

雷射分子束外延系統

雷射分子束外延系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器,於2015年5月6日啟用。

基本介紹

  • 中文名:雷射分子束外延系統
  • 產地:荷蘭
  • 學科領域:物理學、材料科學
  • 啟用日期:2015年5月6日
  • 所屬類別:工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備
技術指標,主要功能,

技術指標

超高真空沉積腔體,本底真空優於10-9mbar雷射能量 700mJ,頻率 100 Hz。

主要功能

雷射分子束外延系統(LMBE)是在傳統的分子束外延(MBE)和脈衝雷射沉積系統(PLD)的基礎上發展而來的,PLD與提供原位監測的反射高能電子衍射儀(RHEED)相結合,使得系統能夠實現類似於MBE的,單原子層精度的薄膜生長。相比於MBE的熱蒸發,它是使用脈衝雷射的高能量使材料蒸發甚至電離,因此被稱作Laser MBE(雷射分子束外延系統)。LMBE屬於高端薄膜製備設備,適用於生長各種納米尺度的單層膜或多層膜。

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