離子硫氮共滲

離子硫氮共滲是在真空條件下，通過輝光放電，使氣氛中硫、氮原子同時滲入工件表面的熱處理工藝。

所用的氣氛為NH₃、H₂S或NH₃、H₂S 與H₂、Ar、He之一種或多種混合氣體。使用前一種氣氛時，NH_3/H₂S=110~30。使用後一種混合氣體時，w(NH₂) 為25%~100%，w(H₂S) 為0.01%~5%。

共滲時工件接陰極，爐壁接陽極，電壓500~700V,電流2~4mA/cm²。爐子的真空度：氣體通人前133Pa，氣體通人後為532~ 1064Pa。共滲溫度480~570℃。溫度低於400℃時，氮擴散慢，不易形成共滲層；600℃以上則工件的熱變形過大。

共滲後滲層組織為硫化物均勻分布在氮化物層中。滲層深度和硬度與離子滲氮相同。因而除可提高工件表面耐磨性外，還同時提高了自潤滑性能以及初期跑合性能及抗黏著、咬合性能，從而延長工件的使用壽命。例如，W18Cr4V高速鋼製溝槽銑刀，硫氮共滲後壽命延長了2~6 倍。