離子濺射台

離子濺射台是一種用於物理學領域的分析儀器，於2016年06月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：離子濺射台
• 產地：美國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2016年06月30日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子能譜儀

技術指標

500mm(直徑) x 600mm(高) 的不鏽鋼內腔，具有前道打開的門和滿室。

主要功能

磁控濺射台，用於高真空級別的渦輪或低溫泵。