《金屬-絕緣體-半導體微電子學系統的物理基礎》是科學出版社1988年出版的圖書，作者是(蘇)利托夫琴科(Литовченко，В.Г.)，(蘇)戈爾班(Горбань，А.П.)。
基本介紹
- 中文名：金屬-絕緣體-半導體微電子學系統的物理基礎
- 作者：(蘇)利托夫琴科(Литовченко，В.Г.)，(蘇)戈爾班(Горбань，А.П.)
- 出版時間：1988年10月
- ISBN：7030000838
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
本書探討了製備絕緣體-半導體、金屬-絕緣體-半導體型層狀結構的各種方法，以及對其參數和電學性質的研究，並總結了對MIS系統非平衡過程的各種測試和分析方法等內容。
圖書目錄
前言
主要符號和縮寫字說明
目錄
第一章 在半導體襯底上生長絕緣膜
第二章 MIS結構參數的測量方法
第三章 絕緣體-半導體系統表面絕緣層結構和電學性質研究
第四章 絕緣體-半導體雙層系統界面的晶體結構和電學性質
第五章 MIS結構中的產生現象和輸運過程
第六章 光照對MIS系統特性的影響——光電容效應
第七章 MIS系統電物理性質的不均勻性及確定不均勻性的方法
第八章 電荷耦合器件
第九章 MIS和絕緣體-半導體結構的器件和組件
參考文獻
