超精密拋光技術

超精密拋光技術是一項推動“積體電路變身革命”的技術。

意義

超精密拋光技術在現代電子工業中所要完成的使命，不僅僅是平坦化不同的材料，而且要平坦化多層材料，使得幾毫米見方的矽片通過這種‘全局平坦化’形成上萬至百萬電晶體組成的超大規模積體電路。例如人類發明的計算機從幾十噸變身為現在的幾百克，沒有超精密拋光不行，它是技術靈魂。