藍光功能薄膜材料的低溫電漿製備和研究

藍光功能薄膜材料的低溫電漿製備和研究

《藍光功能薄膜材料的低溫電漿製備和研究》是依託華南師範大學,由陳俊芳擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:藍光功能薄膜材料的低溫電漿製備和研究
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:陳俊芳
  • 依託單位:華南師範大學
  • 負責人職稱:教授
  • 批准號:10575039
  • 支持經費:20(萬元)
  • 申請代碼:A2907
  • 研究期限:2006-01-01 至 2007-12-31
項目摘要
半導體材料的發光多色化和高亮度化是光電子材料和器件研究中的前沿課題。直接寬頻隙GaN材料具有製備純藍光器件所要求的光電特性。其發射的純藍光與紅、綠光構成白光的三基色。GaN基LED具有高亮度、低能耗、高壽命的特點。由於MOCVD和LPE技術生長GaN基材的生長溫度高達1050度左右,從而限制了這些技術的套用。為了解決沉積溫度高的問題,本課題組採用微波電子迴旋共振電漿增強有機金屬化學氣相沉積E

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