膜厚監控用石英晶振片

《膜厚監控用石英晶振片》是2019年03月14日實施的一項行業標準。

基本介紹

• 中文名：膜厚監控用石英晶振片
• 外文名：Quartz crystal resonator for film thickness control
• 標準編號：T/CEMIA 006—2018
• 發布日期：2018年12月14日
• 實施日期：2019年03月14日

起草人

王麗娟、毛晶、張立強、宮桂英、李健德、李劍、李潔、陳中康、張翔。

起草單位

唐山萬士電子有限公司、武漢海創電子股份有限公司，唐山國芯晶源電子有限公司、北京晨晶電子有限公司，江蘇省東海矽產業科技創新中心。

技術內容

本標準規定了膜厚監控用石英晶振片的產品分類、技術要求、試驗和測量方法、檢驗規則、標誌、包裝、運輸、貯存的要求。