絕緣微堆提高真空沿面耐壓的機理主要基於真空沿面閃絡的二次電子發射崩理論(Secondary Electron Emission Avalanche,SEEA)。一方面,絕緣層厚度與二次電子射程大體相當的情況下金屬層的存在可以阻斷電子崩的連續發展;另一方面,絕緣層與金屬層的交替排布結構會帶來絕緣子表面電場分布的改變,表面產生周期性的徑向電場分量,初始電子在該電場分量的作用下轟擊到絕緣子表面的機率極大地降低,從而抑制閃絡的發生,提高真空沿面閃絡耐壓。實驗研究發現,在同等測試條件下絕緣微堆的真空沿面耐壓性能可以比常規絕緣子成倍地提高(約2~4倍),隨著電壓脈衝寬度的減小絕緣微堆耐壓呈大幅提升趨勢,如圖2所示,因此,絕緣微堆在極短脈衝的脈衝功率系統中套用優勢明顯。