積體電路關鍵工藝虛擬仿真實驗是湖北大學建設的虛擬仿真實驗課程。
基本介紹
- 中文名：積體電路關鍵工藝虛擬仿真實驗
- 課程負責人：胡永明
- 建設院校：湖北大學
- 授課教師：萬美琳、彭曠、宋敏、黃浩
課程性質,教學目標,
課程性質
課程背景
積體電路製造技術是一項集當今世界最先進科技成果於一體的綜合性交叉式邊緣學科，而在微電子工藝方面高校普遍缺乏有效的實踐教學手段，對微電子相關專業的人才培養質量和教學效果產生了很大的影響。為了加深學生對積體電路工藝原理的理解，本課程面向微電子等專業，選取了集成坤路製造環節中最為關鍵的光刻和電子柬刻蝕進行虛擬仿真。本課程能大幅節省教學資源，激發學生的學習主動性和創造力，提高微電子等專業的人才培養質量
教學目標
（1）以“新工科”人才培養為目標，藉助虛擬仿真實驗的教學手段，鞏固課堂的教學效果。
本課程面向微電子科學與工程等電子信息類專業，緊緊圍繞立德樹人的根本任務，選擇積體電路中的兩個關鍵工序“光刻”和“電子束刻蝕”為開發對象，結合我校“新工科”專業的辦學定位和專業內涵，藉助計算機輔助手段，真實重現光刻和電子束刻蝕的具體操作步驟，讓學生能夠身臨其境般的感受積體電路光刻和電子束刻蝕的製造流程，進一步理解光刻機、電子束刻蝕儀等設備的工作原理，鞏固課堂知識點的理解和掌握。
（2）拓展微電子專業的相關知識，基於虛實結合，提升學生在積體電路製造和工藝方面的操作技能。
以我校鐵電壓電材料與器件湖北省重點實驗室和湖北省感測器與光電子器件研發檢測共享平台的真實實驗環境和設備為參考，通過現場參觀儀器與虛擬仿真實驗的“虛實結合”教學模式，構建實踐訓練更深入、更完整、更全面的有機整體;引導學生主動學習並有效銜接積體電路的其他工藝，提升學習的主動性，做到舉一反三，提高實踐操作技能;促進學生對微電子及相關專業的理解，提高學生解決積體電路製造工藝中問題的能力，培養創新型和套用型的複合人才。
（3）基於我國積體電路產業的發展現狀，激發學生學習的內生動力。
通過本課程的學習，使學生了解到我國積體電路產業的發展現狀和所面臨的技術瓶頸，認識到學好微電子專業相關課程，如《半導體器件物理》、《積體電路設計與製造》和《微電子工藝原理與套用》等的重要性;現有科研實驗室緊跟國際先進工藝的發展趨勢，通過導師制和大學生創新創業項目的引導，調動學生參與實驗教學的積極性和主動性，激發了學生學習的創造力和工程實踐能力，增強服務地方經濟發展和立志報效祖國的責任感和使命感。
