矽積體電路製造中光刻和磁控濺射工藝虛擬仿真實驗是河北科技大學建設的虛擬仿真實驗課程。
基本介紹
- 中文名：矽積體電路製造中光刻和磁控濺射工藝虛擬仿真實驗
- 課程負責人：張冬雯
- 建設院校：河北科技大學
- 授課教師：王保柱、張明、武瑞紅、張曉明
課程性質,教學目標,
課程性質
課程背景
積體電路產業是信息產業的核心，是引領新一輪科技革命和產業變革的關鍵力量。從全世界看，以積體電路為核心的信息產業已經成為全球排名第一的產業，超過了以汽車、石油、鋼鐵和電力為代表的傳統產業，是拉動國民經濟成長的強大引擎和雄厚基石。積體電路晶片的套用使各種設備向微型化、集成化、高速度、低功耗和智慧型化方向發展,有力支撐了國家信息化建設。積體電路的快速發展推動著科技的不斷發展與進步，而積體電路製造是推動其快速發展的核心。
教學目標
①使學生能夠簡述標準埋層雙極積體電路的工藝流程；
②使學生能夠描述積體電路製造過程中淨化實驗環境；
③使學生能夠闡明光刻工藝原理及正確設定工藝流程參數；
④使學生能夠闡明磁控濺射工藝原理及正確設定工藝流程參數。
