積體電路製造關鍵工藝虛擬仿真實驗項目是重慶郵電大學建設的虛擬仿真實驗課程。
基本介紹
- 中文名：積體電路製造關鍵工藝虛擬仿真實驗項目
- 建設院校： 重慶郵電大學
- 課程負責人： 楊虹
- 授課教師：應俊、王智鵬、鄒虹、唐政維
課程簡介,課程目標,
課程簡介
“中國芯”在騰飛!緊跟國家將微電子作為基礎性、關鍵性、戰略性產業趨勢，針對真實實驗弊端，開發產業鏈中關鍵的“矽片清洗工藝-→矽熱氧化工藝+濕法刻蝕工藝擴散工藝”虛擬仿真實驗項目,項目特色鮮明。◆ 緊跟前沿，以生為本，理念先進，三維實景仿真技術。◆ 問題導向,需求引領,定位準確，教學內容詳實適宜。◆ 基於案例，方法多樣，效果明顯，專業領域針對性強。◆ 開放運行，共享服務,界面友好，示範弓|領作用顯現。
課程目標
1.以性為本,結合現狀,凝練理念
本項目面向以“微電子科學與工程”專業為代表的電子信息類相關專業，緊緊圍繞立德樹人根本任務，借鑑國際工程教育改革成果-CDIO(Conceive構思、Design設計、Implemen實 現、Operatet運 作)模式和OBE (Outcomebasededucation能力導向教育)思想，以積體電路“設計一工藝製造→封裝→測試→成品”的知識鏈產業鏈為開發參考對象，結合我校辦學定位、微電子科學與工程“新工科”專業建設內涵和“工程教育專業認證目標”，主要開發產業鏈中“工藝製造”關鍵環節的虛擬仿真實驗，即“矽片清洗工藝→矽熱氧化工藝→濕法刻蝕工藝→擴散工藝”虛擬仿真實驗項目。
2.虛實結合,精煉內容，提升技能
以我校“微電子專業市級實驗教學示範中心”的真實實驗環境和設備為參考，實驗項目虛實結合，學生通過虛實結合的實驗演練，可以掌握如下實驗、實踐技能:
(1) 使學生熟悉工藝製造設備特性及基本操作;
(2) 使學生熟悉半導體材料、微電子器件基本構成及工作原理;
(3)使學生掌握關鍵工藝原理及工藝參數設計;
(4)使學生掌握積體電路製造基本流程以及晶片版圖設計規則;
(5)使學生掌握積體電路設計與主流製造技術以及工藝與設計的接口技術。
3.夯實基礎，緊跟產業。激發潛能
通過項目實施，使學生在強化了《半導體物理》、《積體電路設計與製造》 、《半導體材料與半導體工藝 基礎》等相關課程知識的同時，為後續《微電子器件》、《積體電路封裝測試》 等課程的學習奠定堅實基礎。項目實施過程中，緊跟深亞微米工藝及當前28-10納米級先進工藝的發展趨勢，注重對學生創新精神、實踐能力的綜合培養，注重知識傳授、能力培養、素質提高的協同實施，調動學生參與實驗教學的積極性和主動性，激發學生的學習興趣和潛能，增強學生解決複雜工程問題能力和創新創造能力，同時為學生將來就職積體電路產業領域打下基礎。
