《極大規模積體電路碳納米管互連基礎及關鍵工藝研究》是依託天津理工大學，由張楷亮擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：極大規模積體電路碳納米管互連基礎及關鍵工藝研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：張楷亮
- 依託單位：天津理工大學
- 批准號：60806030
- 負責人職稱：教授
- 申請代碼：F0406
- 研究期限：2009-01-01 至 2011-12-31
- 支持經費：23（萬元）
項目摘要
ITRS預測碳納米管（CNT）將在32nm技術器件中替代銅布線，解決銅布線尺寸微細化後無法承載的電流密度、電遷移等問題。目前CNT互連與CMOS工藝的集成技術及工藝兼容性已經成為該領域關注的焦點。本申請綜合分析當前CNT互連研究現狀基礎上著重圍繞CNT互連導電機制及關鍵的影響因素開展研究。首先採用離子束輔助濺射-回蝕-熱處理複合工藝研究低溫下高密度催化劑納米顆粒的形成，進而提高CNT束密度；結合電子迴旋共振CVD方法低溫沉積定向排列的CNT陣列；通過分步化學機械全局平坦化方法解決長徑比極大的CNT開口和剪下難題；形成CNT-金屬埋嵌式互連結構，有效改善界面接觸，提供低電阻CNT互連方法；結合束密度和有效界面接觸探索CNT互連結構中的界面態對CNT導電性能的影響機制，對用彈道輸運特性揭示CNT互連導電機制有重要意義，為GLSI新型互連材料CNT的集成及CMOS工藝兼容提供理論指導和工藝基礎。
