積體電路工藝與設備

積體電路工藝與設備

《積體電路工藝與設備》是1972年科學出版社出版的圖書,作者是北京半導體器件二廠資料室。

基本介紹

  • 中文名:積體電路工藝與設備
  • 作者:北京半導體器件二廠資料室
  • 出版社科學出版社
  • 出版時間:1972年05月
  • 書號: 1503117  
內容簡介,圖書目錄,

內容簡介

本書系根據美國1967年出版的《Integrated Circuit Technology》一書譯出。其主要特點是結合積體電路的主要工序,對所使用的各種設備作了介紹。這其中包括外延擴散、真空系統、製版、金屬化、劃片、焊接、最後封裝、紅外線分析、電子束加工、自動測試、電路失效機理分析等設備以及生產線上的各種輔助設施。
本書涉及面廣,比較易懂,可供從事這方面工作的工人、技術人員參考。

圖書目錄

第一章 擴散和外延設備
第二章 真空系統
第三章 光掩模
第四章 金屬化、劃片和電路組裝設備
第五章 電子束裝置
第六章 最後金屬封裝和塑膠封裝
第七章 紅外檢驗和掩模對準
第八章 絲網漏印電路的製造
第九章 積體電路的自動測試設備
第十章 積體電路的新型測試儀表
第十一章 失效機理的研究與分析
第十二章 微型電子器件工廠的生產設施

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