真空鍍膜原理與技術

真空鍍膜原理與技術

《真空鍍膜原理與技術》是2014年2月科學出版社出版的圖書,作者是 方應翠。

基本介紹

  • 中文名:真空鍍膜原理與技術
  • 作者:方應翠
  • ISBN:9787030398987
  • 出版社:科學出版社
  • 出版時間:2014-02
內容簡介,圖書目錄,

內容簡介

本書闡述了真空鍍膜的套用,以及真空鍍膜薄膜在基體表面生長的過程,探討了薄膜生長的影響因素。具體介紹了真空鍍膜的各種方法,包括真空蒸發鍍、真空濺射鍍、真空離子鍍以及化學氣相沉積的原理、特點、裝置及套用技術等。

圖書目錄

封面
真空鍍膜原理與技術
內容簡介
前言
第一章 真空鍍膜概述
第二章 真空鍍膜成膜過程
第三章 真空蒸發鍍膜
第四章 真空濺射鍍膜
第五章 真空離子鍍
第六章 化學氣相沉積
封底

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