| 中文名稱 | 盧瑟福離子背散射譜法 |
| 英文名稱 | Rutherford ion backscattering spectrometry，RBS |
| 定 義 | 測定大角度盧瑟福背散射離子的能譜，可對樣品所含元素進行定性、定量和深度分布分析，以及薄膜厚度的測定。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料科學基礎（三級學科），材料的表征與測試（四級學科） |
| 中文名稱 | 盧瑟福離子背散射譜法 |
| 英文名稱 | Rutherford ion backscattering spectrometry，RBS |
| 定 義 | 測定大角度盧瑟福背散射離子的能譜，可對樣品所含元素進行定性、定量和深度分布分析，以及薄膜厚度的測定。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），材料科學技術基礎（二級學科），材料科學基礎（三級學科），材料的表征與測試（四級學科） |
盧瑟福背散射譜法是以兆電子伏特級的高能氫元素離子通過針形電極(探針)以掠射方式射入試樣,大部分離子由於試樣原子核的庫侖作用產生盧瑟福散射,改變了運動方向而...
測定大角度盧瑟福背散射離子的能譜,可對樣品所含元素進行定性、定量和深度分布分析,以及薄膜厚度的測定。 套用學科 材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學...
盧瑟福背散射譜學(RutherfordBackscatteringSpectrometry,RBS),有時候被稱為高能離子散射譜學(High-Energy Ion Scattering,HEIS)...
簡稱背散射分析。主要用於樣品中元素的定性、定量和深度分布分析。理論基礎是快速運動的入射離子受靜止的靶原子核的庫侖排斥作用而發生散射。通過對散射離子能量的測量...
中文名稱 離子溝道背散射譜法 英文名稱 ion channeling backscattering spectrometry 定義 盧瑟福背散射與離子溝道效應相結合,對單晶樣品近表面層的結構或摻雜原子的...
盧瑟福背散射分析或盧瑟福背散射譜學(Rutherford Backscattering Spectrometry,RBS),有時候被稱為高能離子散射譜學(High-Energy Ion Scattering,HEIS),是一種離子束...
常用離子束分析技術有核反應分析(nuclear reaction analysis,NRA)、盧瑟福背散射...同一元素其所處的深度不同,散射粒子能量不同,通過散射粒子能譜測量可以無損地...
2.7二次離子質譜2.8俄歇電子波譜法2.9X射線光電子波譜法2.10盧瑟福背散射能譜法2.11電子微探針分析/能量分散X射線分析2.12其他方法...
離子束微分析中,介紹了入射離子束在固體中的散射、盧瑟福背散射譜、聚焦離子束儀和二次離子質譜。X射線束微分析中,介紹了同體對X射線的吸收、由此而來的光電子能...
4.3 X射線光電子譜4.4 二次離子質譜4.5 盧瑟福背散射參考文獻附錄第5章 掃描探針顯微學在半導體中的運用5.1 引言5.2 掃描隧道顯微鏡的基本原理5.3 用STM分析...
6.3.2X射線能量色散譜 6.3.3俄歇電子能譜 6.3.4X射線光電子能譜 6.3.5盧瑟福背散射技術 6.3.6二次離子質譜 7薄膜材料及其套用 7.1耐磨及表面防護塗層 7.1...