離子溝道背散射譜法

中文名稱離子溝道背散射譜法
英文名稱ion channeling backscattering spectrometry
定  義盧瑟福背散射與離子溝道效應相結合,對單晶樣品近表面層的結構或摻雜原子的占位進行分析的方法。用於研究晶體表面結構,測定晶格損傷,確定雜質原子在晶格中的位置等。
套用學科材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料科學基礎(三級學科),材料的表征與測試(四級學科)

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