盧瑟福背散射譜法

盧瑟福背散射譜法是以兆電子伏特級的高能氫元素離子通過針形電極(探針)以掠射方式射入試樣，大部分離子由於試樣原子核的庫侖作用產生盧瑟福散射，改變了運動方向而形成背散射。測量背散射離子的能量、數量，分析試樣所含有元素、含量和晶格的方法。

中文名稱	盧瑟福背散射譜法
英文名稱	Rutherford back scattering spectroscopy
定　　義	以兆電子伏特級的高能氫元素離子通過針形電極(探針)以掠射方式射入試樣，大部分離子由於試樣原子核的庫侖作用產生盧瑟福散射，改變了運動方向而形成背散射。測量背散射離子的能量、數量，分析試樣所含有元素、含量和晶格的方法。
套用學科	機械工程（一級學科），分析儀器（二級學科），能譜和射線分析儀器-能譜和射線分析儀器分析原理（三級學科）

可對樣品所含元素進行定性、定量和深度分布分析，以及薄膜厚度的測定。