準分子氣體雷射器是一種用於機械工程領域的雷射器，於1997年12月1日啟用。
基本介紹
- 中文名：準分子氣體雷射器
- 產地：德國
- 學科領域：機械工程
- 啟用日期：1997年12月1日
- 所屬類別：雷射器
技術指標,主要功能,
技術指標
輸出波長：248nm（193nm）最高單脈衝能量：1200mJ最高脈衝重複率：50Hz最大平均功率：60W。
主要功能
微加工。
準分子氣體雷射器
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