準分子雷射燒蝕系統是一種用於化學、地球科學、材料科學領域的分析儀器，於2012年12月13日啟用。
基本介紹
- 中文名：準分子雷射燒蝕系統
- 產地：美國
- 學科領域：化學、地球科學、材料科學
- 啟用日期：2012年12月13日
- 所屬類別：分析儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
1雷射器：波長 193nm氣體準分子雷射器；最大雷射能量輸出： 200mJ ；脈衝寬度：4～20ns；脈衝頻率 1～20Hz，可連續或分檔調節。；雷射脈衝能量穩定性：＜2%（1 sigma）；樣品表面能量密度： 達到30 J/cm2 以上；冷卻裝置：空冷；雷射安全等級：1級。 2束斑尺寸：5~160 ？m diameter；在束斑尺寸5~160 μm範圍內具有相同能量密度且不小於30 J/cm2。燒蝕斑點不少於13個尺寸可選，全部由軟體切換，切換時間＜0.5s。樣品表面光斑為光柵的真實成像，確保剝蝕坑輪廓清晰底部平坦。 3光學系統：具有反射照明、透射照明系統和偏振裝置，軟體控制。觀象系統有放大和聚焦功能，電腦螢幕上顯示的可視樣品範圍小於0.71 mm × 0.53 mm。配置高清數字彩色CCD影像顯微系統，圖像光學解析度＜1μm。配置顯微成像系統或廣角數字CCD和彩色LCD樣品導航螢幕，便於觀察和選取燒蝕位置。 4進樣系統：自動控制的工作檯，移動範圍50mm×50mm。 工作檯移動步進分辨（Step resolution）好於0.1μm 。可移動更換的樣品。
主要功能
準分子雷射燒蝕系統利用準分子雷射器輸出的高的光子能量及高能量密度，對固體樣品的表面進行剝蝕，即當雷射照射到固體樣品時，使固體樣品的表面物質瞬間被氣化。氣化後的物質通過載氣被輸送到與之連線的檢測儀器，如電感耦合電漿質譜儀等，對物質的成分、含量、同位素等進行測試分析。本系統將主要用於各種固體樣品，如食品、生物樣品、材料、地質樣品等的微區原位同位素分析和微量元素分析等。
