雷射混合氣中組分氣的純度直接影響雷射的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致雷射輸出功率在鏡（面）和電極上的耗損，還會引起雷射發射的不穩定。
基本介紹
- 中文名：雷射混合氣
- 外文名：Laser mixture
- 特別：氣體中氧、水、碳氫化合物
- 引起：雷射發射的不穩定
概述,參數,用途,
概述
氣體雷射器的重要特點之一，雷射工作物質是混合氣或單一純氣體因此，對雷射混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行乾燥處理，防止污染混合氣。如果將氦（He）氖（Ne）雷射作為第一代氣體雷射，二氧化碳雷射是第二代氣體雷射，在半導體製造領域將大量使用的氟化氪（KrF）雷射，可稱為第三代雷射。
參數
常見的雷射混合氣的組成和主要用途：
類別 | 混合氣組成/（10-2） | 用途 | ||||||||||
H2 | Ne | Ar | N2 | CO2 | Kr | F | Xe | CO | HCl | 平衡氣 | ||
氦氖雷射 混合氣 | 2-8.3 | He | 用於工業生產，科學研究和國防建設等領域 | |||||||||
CO2雷射 混合氣 | 0.4 | 13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-12 | 4.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8 | 2.0 4.0 2.0 4.0 | 主要用於雷射加工，如金屬、陶瓷的切割、焊接與鑽孔以及醫療上的雷射外科等 | |||||||
氪氟雷射 混合氣 | 5.0 | 10.0 1-0.2 | 用於保護膜導光以及化學反應等領域。貯存器製造中的石板印刷已開始使用氟化氪雷射 | |||||||||
密封束 雷射氣 | 18.5 | 3 | 2.5 | 作研究用的密封束雷射氣 | ||||||||
準分子 雷射氣 | 25.8 | 9.8 | 0.004 | 1 5 0.2 | 5.0 | Ar He He Ar | 準分子雷射器用於醫療上的外科手術 | |||||
用途
H2NeArN2CO2KrFXeCOHCL平衡氣 氦-氖雷射混合氣
1. 2.0-8.3 He用於工業生產、科學研究和國防建設等領域 二氧化碳雷射混合氣
2. 0.4 13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-124.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8 2.0 4.0 4 He He He He He He主要用於雷射加工、如金屬、陶瓷的切割、焊接與鑽孔以及醫療上用的雷射外科等 氪-氟雷射混合氣
3. 510 1-1.2 He He用於保護膜暴光以及化學反應等領域。貯存器製造中的石板印刷已開始使用氟化氪雷射 密封束雷射混合氣 。
4. 18.5 32.5 H2作研究用的密封雷射器 準分子雷射混合氣
5. 25.89.80.004 1 5 0.2 5Ar He He Ar準分子雷射器用於醫療上的外科手術
