簡介
清華大學機械電子工程研究所成立於2013 年8 月30 日，是新機械系適應清華大學機械工程學科發展需要，為促進機械電子工程二級學科發展而建成。清華大學機械電子工程研究所目前有IC 裝備、機器人、數控三個研究團隊，在職教師20 名，其中IC裝備團隊入選科技部重點領域創新團隊。所長朱煜教授入選國家“萬人計畫”首批科技創新領軍人才，也是02 國家科技重大專項專家組副組長。
教學成果與人才培養
清華大學機械電子工程研究所致力於培養機械電子工程方向具有堅實基礎理論和解決工程實際問題能力的優秀人才。近年來獲得了豐碩教學成果，包括：北京市教育教學成果（高等教育）一等獎1 項，清華大學教學成果二等獎1 項，清華大學實驗技術成果獎一等獎1 項、二等獎1 項，北京市高等教育精品教材1 項，清華大學優秀教材二等獎1 項。指導學生參加“中國機器人大賽暨RoboCup 公開賽”，共獲得6 項冠軍、3 項亞軍和6 項季軍。舉辦海峽兩岸機器人邀請賽及學術交流會1 次。此外，多名老師先後獲得清華大學優秀班主任一等獎。
學科方向
清華大學機械電子工程研究所有IC 製造裝備及超精密測控、機器人與自動化技術及裝備、先進數控技術與智慧型系統三個學科方向。在超精密動力學系統與控制、納米精度工程與測控技術、IC 製造裝備精密機電系統、機器人與仿生學、特種機器人技術及套用、航空製造數位化與自動化、機電數控技術及套用、流體傳動及控制等領域開展教學與科研工作。建有IC 裝備精密機械與測控工程研究中心、機器人與自動化實驗室、航空航天自動化技術實驗室、數控技術實驗室等教學科研基地，還擁有工業機器人、納米級超精密工作檯、亞微米精度三坐標測量機、亞納米解析度雙頻雷射干涉儀、500 平方米超淨間等教學科研設施，為高水平教學和科研工作提供有力支持。
科研成果
清華大學機械電子工程研究所在極端製造裝備、航空航天等國家主流行業具有重要影響力，共完成國家和企業科研課題70 餘項，獲國家和省部級獎3 項，軍隊科技進步獎1 項，已申請國內外發明專利150 餘項，出版學術專著4 部，發表論文近400 篇，年均科研經費超過0.5 億元。2005 年自主研製成功國內第一個10nm 精度同步運動實驗台，2011 年研製了我國第一台可實現交換的光刻機雙工件台，2013 年實現5nm 運動精度；2012 年面向國家航空航天領域重大需求，研製出具有國際先進水平的國內首台大型超長14 自由度冗餘管道特種噴塗機器人系統；2013 年研製成功國際首個用於工具機運動部件懸浮驅動的超導系統。以上進展為國家科技創新與發展做出了突出貢獻。
