浸析速率

在製造環境中，這個數值比飽和浸出值更重要。因為在水從系統沖走之前，水、透鏡和光刻膠僅接觸很短的時間。浸沒的水不斷流過193i掃瞄器，以便浸出的組分從系統中沖洗出來。因此，動態浸出率是衡量鏡片附近水中光刻膠成分濃度的較好指標。

確定飽和浸出水平比確定動態浸出率要容易得多，因為分析測量可以離線確定飽和值。因此，大多數193nm浸沒式研究人員具有內部測量光刻膠樣品飽和浸出水平的能力。但是，這些技術的細節因地而異，飽和浸出的絕對值通常不同。儘管如此，可以建立相關性。在兩個不同的位置測量六個光刻膠樣品的浸出值。圖1顯示了在一個位置獲得的結果與另一個位置獲得的結果對比。在一個位置測試的結果的絕對值與在另一個位置測試的結果的絕對值不同，但兩組結果之間存在線性相關性。對於相同的光刻膠樣品，在一個位置測量的PAG浸出水平約為另一個位置的2倍。