洗脫法elution method又稱洗提法,淋洗法,沖洗法二樣品加在色la柱的一端,流動相連續通過色譜柱固定相,一般是流動相與固定相作用力比樣品弱,樣品各組分按先後順序從固定相洗出。絕大多數色譜分離採用洗脫法。洗脫法有等度洗脫和梯度洗脫之分。
基本介紹
- 中文名:洗脫法
- 外文名:lift-off approach
- 先採用正性浸沒式光刻膠在 BARC 層上製作出大尺寸條狀結構;
- 在光刻膠條狀結構上製作一層中性層;
- 使用TMAH 將光刻膠條狀結構及其上方與側壁的中性層洗脫,留下覆蓋在襯底上的周期性中性層圖形,此時被洗去的部分露出非中性的襯底表面;
- 旋塗嵌段共聚物;
- 退火使嵌段共聚物分相。
