氮化鋁晶體生長與套用，是科學出版社2021年出版的一本圖書，作者是宋波,韓傑才,劉夢婷
基本介紹
- 作者：宋波、韓傑才、劉夢婷
- 出版社：科學出版社
- ISBN：9787030696830
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
氮化鋁（AlN）是一種典型的Ⅲ-Ⅴ族氮化物半導體材料。氮化鋁擁有熱導率高、熱膨脹係數低、介電常數高、抗腐蝕能力強、熱力學穩定性高等優異特性。本書系統、深入地介紹了氮化鋁晶體的基本性質、生長方法和具體套用。全書分為7章：第1章是緒論，介紹了第一、二、三代半導體材料的基本概念、性質和套用；第2～6章主要介紹了氮化鋁晶體的基本特性，低維氮化鋁納米材料、氮化鋁薄膜和氮化鋁晶體的製備方法，以及三元合金及摻雜改性；第7章主要介紹了氮化鋁材料的具體套用。
圖書目錄
前言
第1章 緒論 1
1.1 第一、二代半導體材料概述 2
1.1.1 矽和鍺 2
1.1.2 砷化鎵 4
1.1.3 銻化銦 7
1.2 第三代半導體材料概述 8
1.2.1 氮化鎵 8
1.2.2 碳化矽 10
1.2.3 氮化鋁 13
1.2.4 氧化鎵 14
1.2.5 金剛石 17
1.3 寬禁帶半導體基器件的基本套用 19
1.3.1 發光二極體 19
1.3.2 半導體雷射器 21
1.3.3 紫外光電探測器 22
1.3.4 功率半導體器件 26
參考文獻 29
第2章 氮化鋁晶體特性 32
2.1 氮化鋁的晶體結構 32
2.2 氮化鋁晶體的物理特性 34
2.3 氮化鋁晶體的化學特性 41
參考文獻 42
第3章 低維氮化鋁納米材料製備方法研究 44
3.1 氮化鋁納米線 44
3.1.1 化學氣相反應法 44
3.1.2 直接氮化法 51
3.1.3 分子束外延法 56
3.1.4 電弧放電法 59
3.1.5 碳熱還原法 61
3.1.6 複分解反應法 63
3.2 氮化鋁納米彈簧 67
3.2.1 生長機制分析 67
3.2.2 氮化鋁納米彈簧生長工藝及表征 69
3.3 氮化鋁納米錐和納米帶 73
3.3.1 氮化鋁納米錐 73
3.3.2 氮化鋁納米帶 75
3.4 氮化鋁納米片 78
3.4.1 生長機制分析 78
3.4.2 氮化鋁納米片生長工藝及表征 78
參考文獻 80
第4章 氮化鋁薄膜製備方法研究 83
4.1 氮化鋁薄膜的基本性質 83
4.2 氮化鋁薄膜的製備方法 84
4.2.1 反應磁控濺射法 85
4.2.2 金屬有機化學氣相沉積法 90
4.2.3 分子束外延法 97
4.2.4 脈衝雷射沉積法 102
參考文獻 104
第5章 氮化鋁晶體製備方法研究 109
5.1 物理氣相傳輸法 109
5.1.1 理論基礎和實驗過程 109
5.1.2 溫度的影響 113
5.1.3 生長氣壓的影響 119
5.2 金屬鋁直接氮化法 121
5.2.1 理論基礎與實驗過程 121
5.2.2 晶體生長影響因素 122
5.3 氫化物氣相外延法 125
5.3.1 理論基礎與實驗過程 126
5.3.2 晶體生長影響因素 126
參考文獻 133
第6章 三元合金及摻雜改性 135
6.1 鋁鎵氮 136
6.1.1 鋁鎵氮的結構和基本性質 136
6.1.2 矽摻雜的鋁鎵氮 138
6.1.3 鎂摻雜的鋁鎵氮 139
6.2 鋁銦氮 141
6.2.1 鋁銦氮的結構與性質 141
6.2.2 溫度對鋁銦氮的影響 146
6.2.3 鋁銦氮的製備方法 147
6.3 稀磁半導體摻雜的氮化鋁 148
6.4 稀土元素摻雜的氮化鋁 151
6.4.1 稀土元素摻雜的氮化鋁電致發光材料 151
6.4.2 稀土元素摻雜的螢光發光材料 151
6.4.3 稀土元素摻雜的壓電、介電材料 155
6.5 碳摻雜的氮化鋁半導體材料 161
6.6 鎂摻雜的氮化鋁半導體材料 165
參考文獻 165
第7章 氮化鋁材料的套用 170
7.1 微波、毫米波器件 170
7.1.1 高電子遷移率電晶體 171
7.1.2 場效應電晶體 173
7.1.3 場致電子發射納米器件 176
7.2 光電子器件 179
7.2.1 發光二極體 180
7.2.2 雷射器 181
7.2.3 光電探測器 182
7.3 聲表面濾波器 185
7.3.1 濾波器 185
7.3.2 感測器 186
7.3.3 諧振器 188
7.4 電力電子器件 189
7.5 納米材料在能源中的套用 190
7.6 氮化鋁納米改性變壓器油的電熱性能及其套用研究 191
參考文獻 192
索引 196
