氣敏感測器的製備與套用

內容簡介

《氣敏感測器的製備與套用》內容涵蓋納米薄膜氣敏技術發展與展望；濺射法、溶膠凝膠法納米薄膜製備技術；檢測技術；摻雜理論與元件的功率計算；氣敏感測器信號的處理與融合；實際套用。本書理論聯繫實際，內容豐富全面，有方法有套用。

本書可作為高等學校電子科學與技術專業的參考教材，供本科生和研究生選用；同時也可作為檢測技術、儀器儀表及自動控制等有關工程技術人員的參考書。

圖書目錄

第1章納米薄膜氣敏技術發展與展望1

1．1納米薄膜氣敏技術發展與展望1

1．1．1國外氣敏技術發展現狀和前景1

1．1．2國內氣敏技術研究現狀與差距2

1．1．3國內市場需求與展望2

1．2按材料分類的納米薄膜氣敏感測器3

1．2．1SnO2納米薄膜氣敏特性及其研究進展3

1．2．2ZnO薄膜氣敏特性及其研究進展5

1．2．3TiO2薄膜氣敏特性及其研究進展6

1．3氣敏感測器中的非線性信號處理7

第2章薄膜製備技術8

2．1溶膠-凝膠（sol-gel）法9

2．1．1製備基本原理和過程10

2．1．2溶膠-凝膠製備納米晶TiO2薄膜實驗11

2．2氣敏感測納米薄膜製備濺射技術13

2．2．1濺射過程介紹13

2．2．2磁控濺射設備及製備氣敏薄膜實驗過程17

2．2．3濺射法製備薄膜的實際套用17

2．3濺射過程中薄膜的形成及其氣敏機理18

2．3．1濺射過程中薄膜的形成19

2．3．2濺射膜的氣敏機理21

2．4太陽能電池的ZnO透明導電膜陷光電極的製備27

2．4．1陷光電極的要求28

2．4．2陷光電極的製備方法30

2．4．3MOCVD-ZnO薄膜生長機理31

2．4．4MOCVD-ZnO薄膜生長影響因素32

第3章檢測技術34

3．1氣敏特性測試34

3．2X射線技術在感測器納米薄膜晶體結構及晶粒尺寸分析中的套用38

3．3掃描電子顯微鏡分析45

3．3．1樣品表面上產生的效應45

3．3．2探測器46

3．3．3操作模式48

3．3．4成像襯度機制48

3．3．5實際套用49

3．4利用原子力顯微鏡觀測薄膜的平整度49

3．4．1原子力顯微鏡的功能和特點50

3．4．2工作原理和系統組成50

3．4．3主要工作模式51

3．4．4典型產品52

3．4．5測試實例52

3．5利用橢圓偏振光測定介電薄膜的厚度54

第4章摻雜理論與元件的功率計算59

4．1金屬氧化物摻雜對TiO2氣敏特性的影響59

氣敏感測器的製備與套用

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