氣態源分子束外延

中文名稱	氣態源分子束外延
英文名稱	gas source molecular beam epitaxy，GSMBE
定　　義	對化合物半導體薄膜而言，某些組分採用固體源物質，而某些組分採用氣態源物質的分子束外延生長的技術。
套用學科	材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科）

基本介紹

• 中文名：氣態源分子束外延
• 外文名：gas source molecular beam epitaxy，GSMBE
• 一級學科：材料科學技術
• 二級學科：半導體材料

• 定　義
  
• 對化合物半導體薄膜而言，某些組分採用固體源物質，而某些組分採用氣態源物質的分子束外延生長的技術。