晶圓鍵合系統

晶圓鍵合系統是一種用於電子與通信技術領域的電子測量儀器，於2013年8月2日啟用。

基本介紹

• 中文名：晶圓鍵合系統
• 產地：中國台灣
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2013年8月2日
• 所屬類別：電子測量儀器

技術指標

638*1300*1620mm.2-4英寸容量，最高溫600度。

主要功能

晶圓鍵態分析。