數字無掩膜光刻機

數字無掩膜光刻機是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2014年03月03日啟用。

基本介紹

• 中文名：數字無掩膜光刻機
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2014年03月03日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

光刻分辨力：13.68μm、5μm 、2μm 、1.5μm 、1 μm 工件台運動範圍：X：100mm、 Y：100mm；。

主要功能

數字光刻。