掩模版保護膜 一種很薄的光學透明膜,一般由硝化纖維組成二將該透明膜粘附在框架上,由框架來支承,並私附在光掩模版(或光掩模中間板)卜。它的目的是密封,防止沾污物,減少由曝光系統圖像平面,!,的污染而引起的光刻缺陷
掩模版保護膜 一種很薄的光學透明膜,一般由硝化纖維組成二將該透明膜粘附在框架上,由框架來支承,並私附在光掩模版(或光掩模中間板)卜。它的目的是密封,防止...
掩模保護膜是蒙貼在鋁合金框架上的一層透明薄膜,防止灰塵掉落在掩模有圖形的一側。有了這個薄膜的保護,灰塵顆粒只能掉落在掩模版玻璃的一側或保護膜上。...
掩模版(mask)簡稱掩模,是光刻工藝不可缺少的部件。掩模上承載有設計圖形,光線...掩模所有曝光的區域都必須在保護膜的覆蓋之下。外界和掩模的機械接觸都發生在...
(二)在掩模版安裝保護膜工藝中,在被安裝的保護膜框架面積內,光掩模板與光學透明薄膜之間的未填充空間。醫學方面構成空腔的壁薄而均勻。合併感染時,腔內可見液平面...