掩模版保護膜

掩模版保護膜 一種很薄的光學透明膜,一般由硝化纖維組成二將該透明膜粘附在框架上,由框架來支承,並私附在光掩模版(或光掩模中間板)卜。它的目的是密封,防止沾污物,減少由曝光系統圖像平面,!,的污染而引起的光刻缺陷

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