基本介紹
- 中文名:掩膜熱效應
- 外文名:Mask heating effect
研究表明,完成一盒晶圓(25片)曝光後,掩模溫度會升高4℃。晶圓曝光後,掩模表面的溫度分布是不均勻的,一般中心區域接受到的光照最強,膨脹最多;邊緣區域沒有光照,溫度較低,就沒有膨脹。中心區域向外擴張,但受到四周的約束,這樣在掩模內部形成應力,導致掩模上圖形產生桶狀的畸變。
掩模熱效應是指積體電路製造工藝光刻技術中,掩模版被多次重複曝光後會出現的熱效應現象。...
在投影光學系統中,當光線透過掩模後,由投影光學系統收集,匯聚在晶圓表面。透鏡吸收的光轉化成熱量使透鏡局部的溫度升高,進而會產生投影透鏡熱效應。...
透鏡,用於對準的雷射束照在晶圓上,其反射束經過曝光系統的透鏡,匯聚在掩模上...較大的雷射功率有利於較高的產能,然而,其帶來的問題是在透鏡中產生的熱效應。...
3.4.4掩模版形狀修正3.4.5掩模熱效應的修正3.4.6曝光劑量修正3.5聚焦系統3.5.1表面水平感測系統3.5.2晶圓邊緣區域的聚焦3.5.3氣壓表面測量系統...