掃描離子微區探針

中文名稱掃描離子微區探針
英文名稱scanning ion microprobe
定  義利用細微的一次離子束對被分析表面掃描轟擊,順序取得微區信息的一種二次離子質譜計。
套用學科機械工程(一級學科),分析儀器(二級學科),質譜儀器-質譜儀器儀器和附屬檔案(三級學科)

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