微波放電和雷射燒蝕混合電漿的特性和套用

《微波放電和雷射燒蝕混合電漿的特性和套用》是依託復旦大學,由吳嘉達擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:微波放電和雷射燒蝕混合電漿的特性和套用
  • 依託單位:復旦大學
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:吳嘉達
  • 批准號:19975012
  • 申請代碼:A29
  • 負責人職稱:教授
  • 研究期限:2000-01-01 至 2002-12-31
  • 支持經費:15(萬元)
項目摘要
電子迴旋共振微波放電和脈衝雷射燒蝕的共同作用可以引發一類獨特的電漿.本項目擬ü笛楣鄄旌屠礪勰D?考察研究此類電漿的特性和對產生條件的依賴關係,包括等離猶宓姆植己褪笨昭荼?鞘層特性,粒子行為,電漿物質之間的相互作用以及它們對固體的作用機理,也為此類電漿在材料合成上的作用及其它可能的套用探索提供參考.

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