微接觸印刷是通過彈性印章結合自組裝單分子層技術在基片上印刷圖形的微加工技術。先通過光學或電子束光刻得到模板。壓模材料的化學前體在模板中固化，聚合成型後從模板中脫離，便得到了進行微接觸印刷所要求的壓模。
基本介紹
- 中文名：微接觸印刷
- 常用材料：是PDMS
- 襯底：玻璃、矽、聚合物等多種形式
- 含有：硫醇的試劑
常用材料是PDMS。接著，PDMS壓模與墨的墊片接觸或浸在墨溶液中，墨通常採用含有硫醇的試劑。然後將浸過墨的壓模壓到鍍金襯底上，襯底可以為玻璃、矽、聚合物等多種形式。另外，在襯底上可以先鍍上一薄層鈦層然後再鍍金，以增加粘連。硫醇與金髮生反應，形成自組裝單分子層SAM。印刷後有兩種工藝對其處理。一種是採用濕法刻蝕，另一種是在金膜上通過自組裝單層的硫醇分子來連結某些有機分子，實現自組裝，如可以用此方法加工生物感測器的表面。
微接觸印刷不但具有快速、廉價的優點，而且它還不需要潔淨間的苛刻條件，甚至不需要絕對平整的表面。微接觸印刷還適合多種不同表面，具有操作方法靈活多變的特點。該方法缺點是在亞微米尺度，印刷時硫醇分子的擴散將影響對比度，並使印出的圖形變寬。通過最佳化浸墨方式、浸墨時間，尤其是控制好壓模上墨量及分布，可以使擴散效應下降。
