微感測器：原理、技術及套用

《微感測器：原理、技術及套用》是2005年上海交通大學出版社出版的一本圖書，作者是章吉良，周勇，戴旭涵。

基本介紹

• 書名：微感測器：原理、技術及套用
• 作者：章吉良，周勇，戴旭涵
• ISBN：9787313042903
• 頁數：315
• 出版社：上海交通大學出版社
• 出版時間：2005-12-01
• 裝幀：精裝
• 開本：16

內容簡介

《微感測器：原理、技術及套用》詳細介紹了各類機械微感測器，熱微感測器，磁微感測器，輻射和光微感測器，聲微感測器，化學和生物微感測器，集成、智慧型和靈巧感測器，微感測器陣列和微感測器網路的工作原理、製備技術和套用，重點介紹了各類感測器的最新發展動態，特別是感測器的小型化、集成化、陣列化、多功能化、智慧型化、系統化和網路化的情況。《微感測器：原理、技術及套用》可作為研究生教材，也可供從事感測器工作的教學、科研和工程技術人員參考。

目錄

第1章　緒論

1.1 感測器的分類

1.2 感測器的理想特性和實際限制

1.3 感測器的信號獲取及接口

1.3.1 電阻、電容及電感的測量

1.3.2 接口電路

1.3.3 頻率轉換

1.3.4 數字傳輸

第2章　機械微感測器

2.1 機械微感測器的測試參量

2.2 矽微結構的機械性能

2.3 位移微感測器

2.3.1 基本概念

2.3.2 電容和電感式位移微感測器

2.3.3 光學位移微感測器

2.3.4 超音波位移微感測器

2.3.5 熱電及其他位移微感測器

2.3.6 小結

2.4 速度和流速微感測器

2.4.1 基本概念

2.4.2 熱式流速微感測器

2.4.3 電容式流量微感測器

2.4.4 共振微橋式流量微感測器

2.5 加速度微感測器

2.5.1 基本概念

2.5.2 壓阻式微加速度計

2.5.3 電容和力平衡式微加速度計

2.5.4 性能比較

2.6 力、壓強和應變微感測器

2.6.1 基本概念

2.6.2 力微感測器

2.6.3 應力敏感的電子器件

2.6.4 壓強微感測器

2.6.5 應變微感測器

2.7 質量微感測器

2.7.1 基本概念

2.7.2 壓電式質量微感測器

2.7.3 表面聲波諧振微感測器

2.8 其他機械參數的測試

2.8.1 粗糙度與形狀

2.8.2 粘度與密度

2.8.3 聲與超聲微感測器

第3章　熱微感測器

3.1 引言

3.2 基本概念及定義

3.2.1 基本術語

3.2.2 熱交換的形式

3.3 非接觸溫度測量

3.4 熱機械感測器

3.5 熱敏電阻

3.5.1 熱阻效應

3.5.2 金屬熱敏電阻

3.5.3 半導體熱敏電阻

3.6 熱二極體

3.6.1 基本原理

3.6.2 集成的熱二極體

3.7 熱電晶體

3.7.1 基本原理

3.7.2 集成的熱電晶體

3.8 熱電偶

3.9 其他電測量的熱微感測器

3.9.1 熱開關

3.9.2 微熱量計

3.1 O其他非電測量的熱微感測器

3.10.1溫度計

3.10.2溫度指示器和光纖感測器

3.10.3表面聲波溫度微感測器

3.1 1性能比較和商品器件

3.11.1常用熱微感測器的性能比較

3.11.2熱微感測器商品

第4章　磁微感測器

4.1 霍爾效應器件

4.1.1 霍爾效應和霍爾器件的工作原理

4.1.2 霍爾感測器的設計及霍爾材料

4.1.3 MOS霍爾片

4.1.4 集成霍爾器件

4.2 半導體磁阻效應及其器件

4.3 磁敏二極體和磁敏三極體

4.3.1 磁敏二極體

4.3.2 磁敏三極體

4.4 磁通門微磁強計

4.5 隧道效應磁強計

4.6 超導量子干涉磁強計

4.7 磁阻和巨磁電阻材料及其器件

4.7.1 磁阻效應器件

4.7.2 巨磁電阻感測器

第5章　光微感測器與輻射微感測器

5.1 概述

5.1.1 核輻射與電磁輻射

5.1.2 輻射的度量

5.1.3 輻射感測器的分類

5.2 核輻射微感測器

5.2.1 基於電離的探測器

5.2.2 閃爍探測器

5.2.3 直接固態輻射探測器

5.2.4 其他的探測器類型

5.3 光學微感測器

5.3.1 概述

5.3.2 直接光學微感測器

5.3.3 間接光學微感測器

5.3.4 生物光學微感測器

第6章　聲波微感測器

6.1 引言

6.1.1 聲波技術和壓電效應

6.1.2 聲波的傳播

6.2 用於聲波感測器的壓電材料

6.2.1 壓電體材料

6.2.2 壓電薄膜材料

6.3 聲波的探測

6.4 聲波微感測器的類型

6.4.1 體聲波微感測器

6.4.2 表面聲波微感測器

6.5 實用的聲波微感測器

6.5.1 加速度微感測器

6.5.2 溫度微感測器

6.5.3 壓力微感測器

6.5.4 扭矩微感測器

6.5.5 質量（重量）微感測器

6.5.6 露點(濕度）微感測器

6.5.7 化學蒸氣微感測器

6.5.8 生物微感測器

第7章　化學生物微感測器

7.1 化學生物微感測器的一些基本概念

7.1.1 化學生物微感測器的定義

7.1.2 生物化學感測器的分類

7.2 電阻式化學微感測器

7.2.1 引言

7.2.2 金屬氧化物氣體感測器

7.2.3 有機材料氣體微感測器

7.3 化學電容器

7.4 化學二極體

7.4.1 無機肖特基器件

7.4.2 有機肖特基器件

7.5 化學三極體

7.5.1 金屬氧化物場效應電晶體(MOSFET）氣體感測器

7.5.2 離子選擇場效應電晶體(ISFETs）

7.6 熱化學微感測器

7.6.1 電熱調節器

7.6.2 Pellistor氣體感測器

7.6.3 熱電偶氣體感測器

7.7 質量敏感型化學微感測器

7.7.1 壓電型器件

7.7.2 表面聲波(SAW）生化微感測器

7.8 化學微感測器的套用

7.9 化學微感測器最新進展

第8章　集成感測器、智慧型感測器及靈巧感測器

8.1 集成感測器、智慧型感測器及靈巧感測器的一般定義

8.2 測量控制系統的組成和功能

8.2.1 匯流排結構感測系統

8.2.2 感測節點結構及界面標準

8.2.3 感測器的補償

8.3 接口電路

8.3.1 基本模組

8.3.2 電阻式感測器的接口電路

8.3.3 電容式感測器的接口電路

8.4 集成感測器的製備技術

8.4.1 積體電路製備技術的回顧

8.4.2 常規技術和要求

8.5 靈巧感測器的設計

8.5.1 電路的功能

8.5.2 集成度

8.5.3 信號處理的集成

8.5.4 自校準微感測器

8.5.5 自測試微感測器

8.5.6 多功能微感測器

8.6 靈巧感測器的套用實例

8.6.1 多元件靈巧氣體分析儀

8.6.2 監測水質的靈巧感測系統

8.6.3 溫控表面聲波靈巧氣體感測器

第9章　微感測器陣列及微感測器網路

9.1 微感測器陣列器件的定義和基本構想

9.1.1 微感測器陣列器件的定義

9.1.2 陣列感測器的功能

9.2 輻射陣列感測器

9.2.1 熱陣列感測器

9.2.2 光陣列感測器

9.3 機械陣列感測器

9.4 磁陣列感測器

9.5 化學陣列感測器

9.5.1 基本原理

9.5.2 氣體感測器陣列

9.5.3 氣味感測器陣列

9.6 微感測器網路