失效分析儀

失效分析儀

失效分析儀是一種用於物理學、電子與通信技術領域的特種檢測儀器,於2011年7月22日啟用。

基本介紹

  • 中文名:失效分析儀
  • 產地:法國
  • 學科領域:物理學、電子與通信技術
  • 啟用日期:2011年7月22日
  • 所屬類別:特種檢測儀器 > 光電檢測儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

SiO2薄膜沉積速率≥100nm/min,SiO2薄膜折射率1.46±0.01,均勻性優於±3%。

主要功能

CORIAL 200FA 失效分析儀是CORIAL D250 PECVD系統的輔助設備,共同完成SiO2薄膜的沉積工藝。

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