X射線顯微定量分析儀

X射線顯微定量分析儀是一種用於材料科學、化學工程、環境科學技術及資源科學技術、安全科學技術領域的分析儀器，於2015年11月3日啟用。

基本介紹

• 中文名：X射線顯微定量分析儀
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學、化學工程、環境科學技術及資源科學技術、安全科學技術
• 啟用日期：2015年11月3日
• 所屬類別：分析儀器 > X射線儀器

技術指標

本體真空度：≤1.0×10-3Pa； 電子槍真空度：＜3.5×10-7Pa； SE像解析度：3nm（Acc.Voltage: 30kV）。

主要功能

各種材料的成分和結構解析，包括金屬材料、金屬失效分析、矽酸鹽玻璃、電子材料、表面材料加工、超硬材料、矽酸鹽材料、化工材料、光學材料、生物材料等的分析研究。