太陽電池材料沉積系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2012年9月27日啟用。
基本介紹
- 中文名：太陽電池材料沉積系統
- 產地：中國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2012年9月27日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 食品工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
一、結構形式：真空室採用U型箱體前開門； 二、真空室：500*500*600mm2； 三、真空系統配置：複合分析泵、機械泵、閘板閥； 四、極限壓力：≤6.67*10-5Pa； 五、電子束蒸發源：e型電子槍：陽極電壓：6kV； 六、坩堝：水冷式坩堝，四穴設計，每個容量11ml； 七、功率：0-6KW可調； 八、工件架類型尺寸：基片尺寸：3英寸基片； 九、加熱最高溫度800℃±1℃； 十、基片可連續迴轉，轉速5-60轉、分； 十一、基片與蒸發源之間距離300-350mm可調； 十二、手動控制樣品擋板組件1套； 十三、氣路系統：200sccm質量流量控制器1路。
主要功能
用於半導體光伏薄膜的生長。
