基本介紹
- 書名：壓電薄膜的製備、結構與套用
- 作者：許小紅，武海順
- 出版社：科學出版社
- 出版時間：2002-12-1
版權資訊,內容簡介,目錄,
版權資訊
作 者：許小紅，武海順 編著出 版 社：科學出版社
出版時間：2002-12-1
版 次：1頁 數：175字 數：155000印刷時間：2002-12-1開 本：紙 張：膠版紙印 次：I S B N：9787030108074包 裝：精裝
內容簡介
本書系統地介紹了壓電學的基本原理和壓電薄膜的製備方法。形成過程、結構特徵及其套用。全書共分七章。前四章為壓電材料與壓電學基礎、壓電薄膜的製備方法、薄膜的結構與缺陷、薄膜結構和組成的分析測試方法。第五章和第六章為作者在AlN壓電薄膜方面的研究成果:AlN薄膜的擇優取向結構，AlN薄膜的表面結構和組成。第七章為壓電薄膜的套用。本書體系完整。內容豐富，基礎理論論述簡潔。
目錄
序
前言
第一章 壓電材料與壓電學基礎
1.1 壓電材料的發展
1.2 晶體的點陣結構和對稱性
1.3 晶體的壓電性質
1.4 壓電薄膜的電學性質
參考文獻
第二章 壓電薄膜的製備方法
2.1 真空基礎基礎
2.2 真空蒸發鍍膜
2.3 濺射鍍膜
2.4 化學氣相沉積
2.5 磁控濺射製備AIN薄膜
參考文獻
