鈦酸鋇薄膜

欽酸鋇薄膜是指以BaTiO3為電介質的薄膜介質材料。

基本介紹

• 中文名：鈦酸鋇薄膜
• 外文名：barium titanate film
• 電介質：鈦酸鋇
• 介電常數：16～1900範圍

簡介

欽酸鋇薄膜是指以BaTiO3為電介質的薄膜介質材料。

性能

它的性能與製備工藝條件密切相關，其介電常數在16~1900範圍內。例如藍寶石上無定形薄膜的ε為16左右。

過程

BaTiO3薄膜的損耗與薄膜結構有關，無定形膜的損耗為0.5%，多晶膜則為6. 5%。射頻濺射製備BaTiO3薄膜，濺射靶是由BaCO3和TiO2在高溫下(1400 C)生成的BaTiO3，再經研磨成粉末、壓成圓片、燒結而成。

用途

基片用鉑片，在基片溫度為20~1000度下沉積，然後在1000 C大氣中進行熱處理，其介電常數可達1580~17000。BaTiO3薄膜可用於製造大容量的電容器。