場發射電子束/聚焦離子束雙束工作站

場發射電子束/聚焦離子束雙束工作站

場發射電子束/聚焦離子束雙束工作站是一種用於電子與通信技術領域的醫學科研儀器,於2015年12月16日啟用。

基本介紹

  • 中文名:場發射電子束/聚焦離子束雙束工作站
  • 產地:德國
  • 學科領域:電子與通信技術
  • 啟用日期:2015年12月16日
  • 所屬類別:醫學科研儀器 > 影像診斷儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

Electron beam: ≤1.0nm@15V,≤1.9nm@1KV;Ion Beam:≤2.5nm@30kV。

主要功能

雙束立愉估系統陵宙煮中場發射掃描電鏡主要用於觀察、分析和兵虹拳記錄材料的夜舟殃淋微觀形貌,聚焦離子挨鞏祝束用來對芝催整估樣品進行在微納米尺度下的切割地犁、刻蝕、透射樣品製備及原子探針針尖加工等。

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