圖形退化

是在積體電路製造工藝中圖像質量下降的一種現象。

基本介紹

• 中文名：圖形退化
• 外文名：Image degeneration

在光刻工藝中，每次複製後的掩模版與複製之前的初縮版，圖形發生器製作的中間掩模版或主掩模相比較，其圖像質量（解析度、邊緣銳度、空間位移和缺陷密度等）發生下降的現象。