國家光刻設備工程技術研究中心

國家光刻設備工程技術研究中心依託上海微電子裝備有限公司建設。

國家光刻設備工程技術研究中心以高端光刻設備的總體設計技術、集成技術和關鍵單元技術為主攻目標，緊密結合產業化提供技術支持和工程服務，發展我國光刻機技術，促進產業化，保證光刻機重大專項的實施。