吹洗體積

吹洗體積，化學化工術語。

基本介紹

• 中文名：吹洗體積
• 類型：化學化工術語

吹洗體積p.}rged }alume擬被吹除或置換的不需要的氣體所占據的管道、閥門，減壓器和其他部件的體積之和。在半導體廠供氣系統中，要求儘量縮短供氣管，閥門、J}壓器和其他配件的內部容積應盡叮能小，沒食死體積，與氣休接觸的材質表面光潔，不吸附氣體和水分，不放氣、無粒子脫落。滿x}` }}i}}條件就可以減少吹洗用氣休量，縮短吹洗時間。