基本介紹
- 中文名：同質過程
- 外文名：homogeneous process
將矽烷氣體（SiH4）分解形成多晶矽和氣體。如果這一反應在晶圓上方的氣體中自發地發生，稱為同質過程（homogeneous process）。
這種產生固體的過程一般是不希望的。以矽烷澱積為例，過量的同質反應將導致氣體中產生大量的矽顆粒，它們逐漸地積累在晶圓片上，結果澱積層的表面形態和均勻性都很差。在實際系統中，這種澱積其組分可控性很差並可能受腔體中殘餘氣體的嚴重污染。異質過程的反應非常有利於僅在表面處形成固體。即使在這種過程中，同質反應也是重要的。
例如：在矽烷澱積中，同質反應產生亞甲矽基（SiH2）是至關重要的過程，因為一般相信在一定的溫度和壓力範圍內，是亞甲基而不是矽烷本身被吸附在晶圓表面並生成固體矽。這裡的區別是，同質反應產生的是氣體而不是固體生成物。
