半導體超晶格是指由一組多層薄膜周期重複排列而成的單晶。多層薄膜中各層厚度從幾個到幾十個原子層範圍。各層的主要半導體性質如帶隙和摻雜水平可以獨立地控制。多層薄膜的周期可以在生長時人為控制,因而得到了人造的晶體結構即超晶格。多層薄膜中各層的組分突變的超晶格稱為組分調製超晶格;各層摻雜原子型號發生突變的超晶格稱摻雜調製超晶格。
基本介紹
- 中文名:半導體超晶格
- 外文名:semiconductor superlattice
- 釋義:多層薄膜周期重複排列而成的單晶
- 周期:可以在生長時人為控制
半導體超晶格是指由一組多層薄膜周期重複排列而成的單晶。多層薄膜中各層厚度從幾個到幾十個原子層範圍。各層的主要半導體性質如帶隙和摻雜水平可以獨立地控制。多層薄膜的周期可以在生長時人為控制,因而得到了人造的晶體結構即超晶格。多層薄膜中各層的組分突變的超晶格稱為組分調製超晶格;各層摻雜原子型號發生突變的超晶格稱摻雜調製超晶格。
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